深度调查：项立刚宣传的1纳米“芯片制造机”专利，是什么东西？

编者按：最近，网络流传有人发明了“1纳米芯片制造机”，还自称是重大原创。经核查，2023年7月公开的一份“1纳米芯片”相关专利申请基于对半导体蚀刻技术和设备错误的理解，凭空设计1纳米芯片打印蚀刻一体机。

项立刚：我看了1纳米芯片制造机的专利

近日，项立刚直播时宣传，7月2日时看到一个可以做1纳米芯片的专利。

Jim哥去核实了一下，果然有一份2022年1月申请的专利《制程精度直达终级1纳米 的打印兼刻蚀一体机》，这份专利申请公开日是2023年7月28日，目前进入实质审查阶段，并没有获得授权。

专利发明人我不认识，专利是这么说的：

“制程精度直达终级1纳米 的打印兼刻蚀一体机发明项目，就是综合当今已经技术成熟并普及应用的大尺度彩色图片喷墨打印机 和我国已经获得世界领先水平的刻蚀机的工作原理 来设计发明的。此发明能够跨过光刻机这头拦路虎，直接由电脑里的大尺度的CAD ……等格式的电路图中，通过每个扫描电路图上针孔状探头探测到的每个像素的光学图像信号，经光电信息转换后，传送到刻蚀机的等离子体喷头的喷射孔点阵中的每一个对应的等离子体喷射孔。 ”

简单来说，就是用CAD软件控制1纳米精度的蚀刻机喷头，沿着CAD的图纸进行走线式的打印！

专利的核心设计：

1纳米精度的单电子束等离子体喷射头！

怎么实现1纳米的精度呢？发明人说，我做一个锥形喷口，上面的直径D2是0.2毫米，喷口出口的直径是0.05毫米，我控制电子束的静电场，让其聚焦到电子半径，肯定就小于1纳米 ！

所谓的“1纳米芯片制造机”，其实就是一个类似“电子束光刻机”的概念

咦？我们先不看所谓的“1纳米”，单单这“发明”，怎么看着有点熟悉？

是不是有一个东西，叫做“电子束光刻机”，发明人没有看过？

“发明人”准备用CAD软件的图纸控制400个蚀刻机的400个等离子体喷射孔点阵系统 ，一次性完成400个芯片同步蚀刻工作！

实际上，目前的半导体制造工艺中的掩模版，就是通过电子束光刻技术，用类似的扫描技术制造的。

众所周知，ASML在2019年收购了快要破产的电子束光刻厂商Mapper，它的电子束光刻机就拥有13000个电子束头。当然，这种点阵的光刻系统，它本身就不具有大规模生产能力，所以目前只用来加工掩模版。

“1纳米芯片制造机”的本质错误！

如果这位发明人仅仅是基于类似于“电子束光刻”的概念，发展了独创的1纳米精度的蚀刻等离子体束，那也是一个非常顶尖的科学成果。

那么，发明人造出来了吗？

中微半导体的“5纳米蚀刻机”，本身是不具有空间分辨率的，它的原理是把光刻曝光的整个晶圆放在蚀刻腔体中进行蚀刻。所谓的“5纳米”，只是光刻的精度匹配的工艺。

因为蚀刻机工作过程，是整个晶圆在蚀刻腔中被同步蚀刻，所以也就不存在扫描式等离子体枪头的概念了！

而且，所谓的5纳米蚀刻机，指的本身就是5纳米工艺节点，它实际上对应的光刻分辨率也不是5纳米。

蚀刻不具有空间分辨率，光刻具有空间分辨率

所以，这位发明人称从中微半导体的商用蚀刻机出发，通过等离子体喷头实现“1纳米芯片制造机”的概念本身就是完全异想天开的 ！

“发明人”专利中号称这是“原创重大发明 ”，令人惊奇！

爱迪生类型的发明人？

我看了一下专利申请记录，这位“1纳米芯片制造机”的发明人，从2015年开始撰写发明申请，现在已经申请58个专利， 6个已经授权， 最早的申请的专利是“内置式叠层蒸炖炊具盒 ”， 最近申请的专利是“一种用于青少年脊柱侧弯的内固定装置及矫治系统 ”。

看来，这位“发明人”走的是爱迪生类型的职业路线。

既然这样，我们就安静等待这份专利申请的审查结果咯！

注：原文中，关于Mapper公司的电子束光刻的表述，错误的表述成“电子束蚀刻”，已经全部修正。

1纳米芯片在2027年实现？ 悦读全球

悦读全球（2021.12.03）

1纳米芯片在2027年实现？

日本经济新闻3日报道，全球尖端半导体的开发竞争将进入新阶段。与世界大型企业展开合作的比利时研究机构微电子研究中心(imec)策定了电路线宽为1纳米芯片在2027年实现实用化的路线图。表示之后的0.7纳米芯片也将在2029年以后量产。

微电子研究中心是拥有约5000名研究者的非营利的研究机构。台积电（TSMC）、英特尔和三星电子等大型半导体厂商、设备与原材料厂商通过派遣研究人员或进行委托研究来参与其中。此前，根据微电子研究中心的路线图开发的技术成为各企业推进实用化的基础。

此次，微电子研究中心提出新的路线图，在预测尖端半导体今后的发展方面成为重要指导方针。

受此推动，今后着眼于“1纳米以下”的竞争或将全面启动。目前的尖端产品为台积电和三星量产的5纳米芯片，两家企业计划在2025年启动2纳米芯片的量产。英特尔也表示，将在同一年恢复世界顶尖的制造技术，正加快推进研发。美国IBM于5月宣布已成功进行2纳米芯片的试制。

另一方面，关于2纳米以下量产不可或缺的新一代EUV（极紫外）光刻设备，正在与荷兰ASML控股推进共同开发项目，日本东京电子也参与其中。微电子研究中心的首席执行官Luc Van den hove针对项目的进度透露，“计划到2023年初推出试制机，还有企业寻求2026年实现量产”。

半导体性能的飞跃式提高将在家电和机器人等日常生活中的“边缘终端”领域推动负责计算处理的AI的利用。现在，AI的庞大计算处理在云平台上完成的情况很多，但Luc Van den hove指出，“未来将变为（与边缘终端）保持平衡”，随着处理由云平台和边缘终端分担，希望有助于减少向数据中心发送之际等需要的耗电量。

中国产光伏面板涨价影响日本能源战略

日本经济新闻3日报道，全球光伏面板的价格已涨至比上年高出3成的水平。原因是受主产地中国的电力短缺影响，面板工厂的开工率降低，供应能力下降。对于日本的发电企业来说，价格已涨至无利可图的水平，修改或推迟合约的情况相继出现。日本政府通过光伏发电获得可再生能源的战略有可能受到影响。

开展光伏发电咨询业务的日本资源综合系统公司（RTS Corporation）的数据显示，全球光伏面板的价格截至11月12日为每瓦0.258美元，比2020年10月的0.196美元高出约3成。

掌握光伏面板市场7成份额的中国企业的生产不振。2020年夏季，作为面板原料的硅的中国工厂多次发生爆炸事故。在硅供应无法顺利增长的背景下，2021年秋季以后中国全境的电力不足进一步打击了面板供应。

在中国，光伏面板使用的铝制框架和硅等工厂的开工率联袂下降，价格上涨。导致面板工厂的开工率也随之下降。

生产成本上升和面板供不应求引发了价格上涨。

10月，日本出光兴产宣布停止自主生产光伏面板。日本曾是全球屈指可数的光伏面板制造大国，但由于受到中国企业挤压，如今日本占据的市场份额仅为0.3％。如果不依靠主要从中国进口的光伏面板，日本的光伏电站建设也难以顺利推进。

日本在第6次能源基本计划中提出方针称，在电力构成中使可再生能源比例到2030年度达到36％-38％，增至目前的2倍。要达成目标，光伏发电需要从2021年3月的6200万千瓦，到2030年度增加至最多1.176亿千瓦。目前的面板价格上涨有可能为计划泼下冷水。

日本成立“教育未来创造会议” 探讨大学模式

共同社报道，日本政府3日在内阁会议上决定成立“教育未来创造会议”，讨论大学等高等教育应有模式和对学生的援助措施。首相岸田文雄担任主席，文部科学相末松信介等相关阁僚、大学与企业相关人士等专家总计25人组成。最快将在本月内召开首次会议，力争明夏前后汇总第一次建议。

该会议是伴随安倍晋三前政府2013年成立的“教育再生执行会议”废除的后续组织。主要讨论重点为大学教育的目标模式、岸田政权作为增长战略重视的数字与科技领域等为主的人才培养措施。预计推进在职人员重新学习的“回归教育”、引入新奖学金制度等也将成为议题。

专家有15人，女性达到过半数的8人。包括NITORI控股董事安孙子寻美、演员伊藤麻衣子、京都橘大学校长日比野英子等。男性包括担任日本私立学校振兴共济事业团理事长的庆应义塾大学前校长清家笃、日立制作所董事长兼首席执行官（CEO）东原敏昭、长野县知事阿部守一等。

岸田为设在文科省内的秘书处挂牌。他表示，“终于启动，精神振奋。期待有利于完善教育。”文科相末松在内阁会议后的记者会上表示，“就读理工科专业的女性极少是课题。希望会议从新的角度提出建议。”

英国新铁路旅行平台承诺每卖出一张火车票就种一棵树

卫报3日报道，英国今天推出的一个新的火车售票平台承诺，每卖出一张票就种一棵树，希望这能吸引那些关心气候变化的乘客。Trainhugger表示，它将与皇家林业协会和苏格兰皇家林业协会合作，从每张1.5英镑的订票费中拿出50便士来购买一棵小树。

该网站将出售与其他铁路网站相同的英国路线和票价，如Trainline，该网站对每张票收取80便士至1.75英镑的网络预订费（以及35便士至1.75英镑的提前预订费，在旅行当天免费）。直接向Southern或Virgin铁路供应商订票的乘客通常不需要支付预订费，但Trainhugger的创始人相信，他们将能够从竞争对手那里赢得足够的业务，为应对气候变化做出相当大的贡献。他们希望到2025年能种植1000万棵树。

“如果铁路恢复到新冠大流行前的状态——2019年有18亿人次——而其中5%的乘客选择通过Trainhugger买票，那将是9000万次预订或9000万棵树，我们将达到政府每年种植9千万至1亿2千万棵树（3万公顷）的目标，”与Ed Caldecott共同创办该公司的Felix Tanzer说。

虽然Trainhugger及其安卓和iOS应用程序今天正式推出，但乘客从10月下旬开始就可以通过该网站进行预订。它已经接受了25,000次预订，相当于25,000棵树，其中第一棵树种植在白金汉郡。

该网站使用第三方的预订和支付系统——On Track Retail——并表示将提供与其他网站相同的票价。

注册的乘客可以得到他们个人支付的树木数量的流水账，还可以找到种植这些树木的农民的信息。

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日本再现禽流感疫情 熊本县养鸡场超6万只鸡被扑杀

照片拍摄于2016年12月1日，日本新潟县，当地一家养鸡场爆发禽流感，工作人员前往进行消杀工作。

据日本放送协会(NHK)报道，12月2日，日本熊本县南关町的一家养鸡场的死鸡体内，被检测出高致病性的禽流感病毒。目前该县已开始对此养鸡场约67000只鸡进行扑杀。此外，该养鸡场的半径3公里以内，被指定为禁止运输鸡和鸡蛋的“限制移动区域”，半径10公里以内，被指定为禁止从该地区向外发货的“限制运出区域”。此前，日本鹿儿岛县及兵库县养鸡场内，已相继发现禽流感病毒。

（本文编译自日本经济新闻、共同社、卫报）

经济观察网 实习记者 周雨晴 整理

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